石英加工用緑色SIC粉末 JIS800# JIS600# JIS400#
石英加工には、高い硬度、均一な粒度分布、そして汚染リスクの最小化を兼ね備えた研磨材が求められます。JIS800#、JIS600#、JIS400#のグレードをご用意している当社の グリーンシリコンカーバイド（SiC）パウダーは、これらの厳しい要件を満たすよう特別に設計されています。合成研磨材の中でも最も硬い部類に入る（モース硬度9.5）グリーンSiCは、水晶、溶融石英、石英ガラス、人工石英の切断、ラッピング、研磨、表面仕上げにおいて優れた性能を発揮します。半導体用石英部品、光学レンズ、高級石英スラブなど、用途を問わず、このパウダーは再現性の高い高純度加工を実現します。
物理的特性 – 石英加工用グリーンSiC粉末 JIS800# JIS600# JIS400#
| 比重 | 3.95グラム/ cm³ |
| モース硬度 | 9.5 |
| 最高使用温度 | 1900℃ |
| 融点 | 2250℃ |
代表的な化学分析値 [%] – 石英加工用緑色SiC粉末 JIS800# JIS600# JIS400#
| SiC | Fe2O3 | FC | F.Si | SiO₂ | 法 |
| 98.0～99.5 | ≤0.15 | ≤0.30 | ≤0.40 | ≤0.70 | < 0.09 |
粒子径分布
JIS規格
| サイズ | D O（1） | D 3 (um) | D 50（1個） | D 94 (um) |
| #240 | ≤127 | ≤103 | 57.0±3.0 | 40歳以上 |
| #280 | ≤112 | ≤87 | 48.0±3.0 | 33歳以上 |
| #320 | ≤98 | ≤74 | 40.0±2.5 | 27歳以上 |
| #360 | ≤86 | ≤66 | 35.0±2.0 | 23歳以上 |
| #400 | ≤75 | ≤58 | 30.0±2.0 | 20歳以上 |
| #500 | ≤63 | ≤50 | 25.0±2.0 | 16歳以上 |
| #600 | ≤53 | ≤41 | 20.0±1.5 | 13歳以上 |
| #700 | ≤45 | ≤37 | 17.0±1.5 | 11歳以上 |
| #800 | ≤38 | ≤31 | 14.0±1.0 | ≥9.0 |
| #1000 | ≤32 | ≤27 | 11.5±1.0 | ≥7.0 |
| #1200 | ≤27 | ≤23 | 9.5±0.8 | ≥5.5 |
| #1500 | ≤23 | ≤20 | 8.0±0.6 | ≥4.5 |
| #2000 | ≤19 | ≤17 | 6.7±0.6 | ≥4.0 |
| #2500 | ≤16 | ≤14 | 5.5±0.5 | ≥3.0 |
| #3000 | ≤13 | ≤11 | 4.0±0.5 | ≥2.0 |
| #4000 | ≤11 | ≤8.0 | 3.0±0.4 | ≥1.8 |
| #6000 | ≤8.0 | ≤5.0 | 2.0±0.4 | ≥0.8 |
| #8000 | ≤6.0 | ≤3.5 | 1.2±0.3 | ≥0.6 |
Green sic JIS800# の COA および PSD
石英にグリーンSiCを使用する理由とは？ – 材料科学上の利点
緑色炭化ケイ素は、高純度シリカ砂と石油コークスを高温電気炉で反応させることにより製造されます。その独自の特性により、石英加工において酸化アルミニウムや従来の研磨剤よりも優れています。
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極めて高い硬度（モース硬度9.5）： 酸化アルミニウム（モース硬度9）を凌駕し、ダイヤモンドに匹敵する硬度を持つ。これにより、石英（モース硬度7）の効率的な切断・成形が可能となり、粒子の破壊を最小限に抑えることができる。
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鋭利で角張った粒子形態： 脆く鋭利な粒子は、擦り付けや塗りつけではなく、微細な切削作用を生み出し、光学および電子用クォーツに不可欠な、傷のないきれいな表面を実現します。
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高い熱伝導率： 研削や研磨中に熱を素早く放散するため、熱に弱い石英材料の熱応力によるひび割れや表面の焼け焦げのリスクを低減します。
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化学的純度： 鉄分と遊離炭素の含有量が少ないため、表面の変色や汚染を防ぎます。これは、微量の金属がデバイス性能を損なう可能性がある半導体グレードの石英部品にとって非常に重要です。
