シリコンウェハー切断用1200番緑色炭化ケイ素粉末
シリコンウェーハ切断用の1200番グリーン炭化ケイ素粉末は、非常に硬い（ヌープ硬度2600、モース硬度9.4）人工鉱物であり、高い熱伝導率（100 W/mK）を有しています。また、高温でも高い強度を発揮し（1000℃では、グリーンSiCはAl2O3の7.5倍の強度）、弾性率は410 GPaで、1600℃まで強度が低下しません。常圧では溶融せず、2815.5℃で分解します。
物理的性質
| 比重 | 3.95グラム/ cm³ |
| モース硬度 | 9.5 |
| 最高使用温度 | 1900℃ |
| 融点 | 2250℃ |
代表的な化学分析値 [%]
| SiC | Fe2O3 | FC | F.Si | SiO₂ | 法 |
| 98.0～99.5 | ≤0.15 | ≤0.30 | ≤0.40 | ≤0.70 | < 0.09 |
粒子径分布
第1章（JIS規格）
| サイズ | D O（1） | D 3 (um) | D 50（1個） | D 94 (um) |
| #240 | ≤127 | ≤103 | 57.0±3.0 | 40歳以上 |
| #280 | ≤112 | ≤87 | 48.0±3.0 | 33歳以上 |
| #320 | ≤98 | ≤74 | 40.0±2.5 | 27歳以上 |
| #360 | ≤86 | ≤66 | 35.0±2.0 | 23歳以上 |
| #400 | ≤75 | ≤58 | 30.0±2.0 | 20歳以上 |
| #500 | ≤63 | ≤50 | 25.0±2.0 | 16歳以上 |
| #600 | ≤53 | ≤41 | 20.0±1.5 | 13歳以上 |
| #700 | ≤45 | ≤37 | 17.0±1.5 | 11歳以上 |
| #800 | ≤38 | ≤31 | 14.0±1.0 | ≥9.0 |
| #1000 | ≤32 | ≤27 | 11.5±1.0 | ≥7.0 |
| #1200 | ≤27 | ≤23 | 9.5±0.8 | 5.5以上 |
| #1500 | ≤23 | ≤20 | 8.0±0.6 | ≥4.5 |
| #2000 | ≤19 | ≤17 | 6.7±0.6 | ≥4.0 |
| #2500 | ≤16 | ≤14 | 5.5±0.5 | ≥3.0 |
| #3000 | ≤13 | ≤11 | 4.0±0.5 | ≥2.0 |
| #4000 | ≤11 | ≤8.0 | 3.0±0.4 | ≥1.8 |
| #6000 | ≤8.0 | ≤5.0 | 2.0±0.4 | ≥0.8 |
| #8000 | ≤6.0 | ≤3.5 | 1.2±0.3 | ≥0.6 |
第2章（FEPA基準）
| サイズ | D 3 (um) | D 50（1個） | D 94 (um) |
| F230 | ＜82 | 53.0±3.0 | 34歳以上 |
| F240 | ＜70 | 44.5±2.0 | 28歳以上 |
| F280 | ＜59 | 36.5±1.5 | >22 |
| F320 | ＜49 | 29.2±1.5 | 16.5以上 |
| F360 | ＜40 | 22.8±1.5 | >12 |
| F400 | ＜32 | 17.3±1.0 | >8 |
| F500 | ＜25 | 12.8±1.0 | >5 |
| F600 | ＜19 | 9.3±1.0 | >3 |
| F800 | ＜14 | 6.5±1.0 | >2 |
| F1000 | ＜10 | 4.5±0.8 | >1 |
| F1200 | ＜7 | 3.0±0.5 | >1（80%） |
| F1500 | ＜5 | 2.0±0.4 | >0.8（80%時） |
| F2000 | ＜3.5 | 1.2±0.3 | >0.5（80%時） |
主な用途
結合研磨材およびコーティング研磨材
ブラスト処理、表面処理、錆除去
湿式および乾式ブラストメディア、研削、研磨など
-床/壁用ラミネート、耐摩耗性
セラミック製品：セラミックタイル、セラミックフィルタープレート、セラミック膜など
テフロン塗装など
断熱材
研削砥石、カップホイール、砥石、研磨パッドなど
るつぼ、窯焼き用部品、メカニカルシール、半導体製造用部品材料などに使用される。
